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MTP 系列 | 適用高真空高真空機(jī)器人 Vacuum Robot

日期:2023/6/24 17:50:17 / 閱讀: / 來源:本站


實(shí)現(xiàn)了低震動(dòng)?低噪音,可以支持次世代半導(dǎo)體制造裝置。

產(chǎn)品特點(diǎn)


全軸采用伺服電機(jī),根據(jù)獨(dú)自的構(gòu)造,支持10^-6Pa的真空環(huán)境。


關(guān)于末端執(zhí)行器部,晶圓保持部的材質(zhì)請(qǐng)另行咨詢。


也可以提供無升降功能(Z軸)的機(jī)型。(請(qǐng)您咨詢)。


采用分支構(gòu)造,將雙手掌的回旋半徑控制在最小。


Specification


作者:admin


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