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MAF-R 系列 | 高清潔傳送系統(tǒng) Pre-Aligner

日期:2023/6/24 20:00:46 / 閱讀: / 來源:本站

  


       本制品采用非接觸方式,可高速調(diào)整晶圓的定向平面及中心定位。


  產(chǎn)品特點

  晶片的中心定位及角度調(diào)整采用非倒換方式,從而實現(xiàn)了高速處理。

  對應(yīng)φ200mm~φ300mm SEMI/JEIDA硅晶圓。

  自動識別晶圓的尺寸及V形切口,定向平面,省略了上級控制器的設(shè)定。

  內(nèi)置型控制器的緊湊設(shè)計。

  可以通過RC232或RS485串列通信,或者光學(xué)I/O并聯(lián)通新的方式進(jìn)行控制。

  傳感器采用了CCD方式的受光素子,實現(xiàn)了高處理量。

  Specification



作者:admin


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